1958年，原上海科学技术大学在中国科学院上海分院各研究所和谢希德院士的帮助下，成立半导体物理专业。本专业历经“半导体物理”、“半导体物理与器件”、“微电子技术”、“微电子学”等专业名称（其间原上海科学技术大学于1994年并入上海大学），2012年专业更名为“微电子科学与工程”。

  上海大学在相关学科领域有深厚的历史积淀，自1958年在上海高校中率先设立半导体物理本科专业，随后依次获批多个相关学科博士学位授权点，2004年建成新型显示技术及应用集成教育部重点实验室，2019年11月成立微电子学院，学院坐落于嘉定校区，传承了上海大学在半导体微电子及相关学科领域60多年的积累，集聚了合作伙伴，产业伙伴，国际伙伴和众多校友的力量，力争为国家和上海市做出更大的贡献。

微电子学院成立后，“微电子科学与工程”本科专业也从理学院物理系转出至微电子学院，是微电子学院的建院之本。2020年上海大学自主增设“集成电路科学与工程博士点”，2021年学院获批教育部“集成电路科学与工程一级学科硕士学位授权点”。同年，微电子科学与工程专业获批“上海市一流本科专业建设点”、上海微电子产业学院（即上海大学微电子学院）获批“首批国家级现代产业学院”和“上海市级重点现代产业学院”。。